Cur síos ar tháirgí
Nítríd sileacainTá struchtúr dlúth, neart ard agus friotaíocht dea -chaitheamh ag scannáin tanaí, agus is féidir iad a úsáid mar chomhpháirteanna struchtúracha i bhfeistí MEMS. Rinneadh modulus agus cruas na n -ógánach de na scannáin nítríde sileacain a thástáil leis an modh PECVD, agus rinneadh anailís ar éifeachtaí an chóimheasa sil -leagan agus an chóimheas sreafa gáis ar mhodal agus cruas na scannán. Baineadh úsáid as scannán nítríde silicon mar bhíoma fionraí chun lasca RF MEMS a dhéanamh.
Paraiméadair táirgí
| Grád | N | SI | CA Min | Ó Min | C Min | Al Min | FE |
| Si3n 485-99 | 32-39 | 55-60 | 0.25 | 1.5 | 0.3 | 0.25 | 0.25 |
Pictiúr um Chomhar Táirgí

1.Nítríd sileacainIs criadóireacht struchtúrach ardteochta agus ard-neart iad criadóireacht le hionchais forbartha leathana. Tá ardfheidhmíocht aige (mar shampla ard -neart, cobhsaíocht turraing teirmeach mhaith, déine ard tuirse, neart solúbthachta ard ag teocht an tseomra, friotaíocht a chaitheamh, friotaíocht ocsaídiúcháin, friotaíocht creimthe, etc.), agus baineadh úsáid as go forleathan i ngach saol. I measc na modhanna ullmhúcháin de nítríd sileacain go príomha tá shintéiriú imoibriúcháin (RS), sintéiriú brú te (HPS), shintéiriú brú atmaisféarach (PLS) agus sintéiriú brú neomatach (GPS). Faoi láthair, is í an phríomhfhadhb ná go bhfuil déine íseal agus costas ard ag táirgí ceirmeacha nítríde sileacain. Sa todhchaí, is gá na próisis mhuilleoireachta, mhúnlaithe agus shintéirithe a fheabhsú agus comhdhlúthú nítríd sileacain agus cairbíd sileacain chun criadóireacht nítríde sileacain níos fearr a fhorbairt.
Clibeanna Te: Nítríd sileacain miotail ardleibhéil, déantúsóirí, soláthróirí, monarcha, monarcha, monarcha ar ardleibhéal miotail ardleibhéil

