Nítríd sileacain ábhair ardleibhéil

Faoi choinníollacha iargúlta, is féidir púdar sileacain a ní go hiomlán sa phróiseas SHS chun é a ghiniúintnítríd sileacain, agus tá ábhar nítrigine ard agus ábhar ocsaigine íseal ag an táirge, ach is céim é. Sa imoibriú silicon múiche shs, ní mór méid cuí Si {_3 n _4 a chur leis; Méadaíonn treoluas iomadú an tonn dócháin SHS de sileacain leis an méadú ar bhrú nítrigine agus ar an laghdú ar dhlús líonta imoibreora, ach tá sé neamhspleách ar chomhdhéanamh an imoibreora agus ar thrastomhas an tsampla. Mhéadaigh an teocht tonn dócháin leis an méadú ar bhrú nítrigine agus an méadú ar thrastomhas an tsampla, a bhí neamhspleách ar chomhdhéanamh imoibreoirí agus dlús a líonadh.

1.Nítríd sileacainUllmhaíodh scannáin trí úsáid a bhaint as teicneolaíocht sil -leagan gaile ceimiceach plasma (PECVD) faoi choinníollacha sil -leagain éagsúla (raon teochta foshraithe de 20 ~ 180 agus cumhacht RF de 10 ~ 30W), agus rinneadh staidéar ar éifeachtaí na gcoinníollacha sil -leagain ar airíonna agus airíonna uiscedhíonacha scannán nitride sileacain. Taispeánann na torthaí turgnamhacha go méadaíonn an dlús, an t -innéacs athraonta agus an cóimheas Si/N de scannáin nítríde sileacain leis an méadú ar theocht an tsubstráit, agus go laghdaíonn an ráta sil -leagain agus an t -ábhar H dá réir. Leis an méadú ar chumhacht RF, méadaíonn an ráta sil -leagain, an dlús, an t -innéacs athraonta agus an cóimheas Si/N de scannáin nítríde sileacain dá réir, agus laghdaíonn an t -ábhar H dá réir. Taispeánann an turgnamh tréscaoilteachta gaile uisce, fiú má laghdaítear an teocht foshraithe go 50 céim, go bhfuil feidhmíocht uiscedhíonach maith fós ag an scannán nítríde sileacain taiscthe. Taispeánann torthaí turgnamhacha gur féidir scannáin nítríde sileacain ísealteochta a chur i bhfeidhm go héifeachtach ar phacáistiú feistí astaithe solais orgánaigh (OLEDs).

Clibeanna Te: Nítríd sileacain ábhair ardleibhéil, monaróirí nitride sileacain ardleibhéil na Síne, soláthróirí, monarcha